南京市江北新區研創園激光芯片公共技術服務平臺-南京博森科技有限公司

研創園激光芯片公公技術服務平臺位于南京市浦口區西華北路1 號，項目建筑面積6309.79m2，其中萬級區1535m2，千級區 1134m2，百級區21m2。配電房、機組間、特氣間、純水間、廢水間等輔助功能間3234m2。合同額3299萬，工期100天。項目包含：潔凈系統、消防、PCW、CDA、PV、有機排風、無機排風、熱排風、純水系統、廢水系統、冷熱源系統、DCC系統、弱電系統。

萬級區采用的是AHU+高效箱的方式，溫濕度要求為：22±1℃，50±5%RH。

千級區采用的是MAU+DCC+FFU的方式，溫濕度要求為：22±0.5℃，45±3%RH，光刻間溫濕度要求為：22±0.5℃，

40±3%RH，每小時變化率不高于±0.1℃。